我的碩士論文: 布利基曼爐結晶成長之模式研究

[ 摘要 ]
半導體於布氏爐中結晶成長的過程，是溫度場與熔液中流場互相耦合，並且涉及液固相變化，及摻雜濃度分布的一個複雜的問題，其中摻雜(dopant)濃度分布的不均勻是一個很受到關注的問題。